[发明专利]一种基于半导体性单壁碳纳米管的柔性、透明气体传感器有效
申请号: | 201510070473.3 | 申请日: | 2015-02-11 |
公开(公告)号: | CN104677879B | 公开(公告)日: | 2017-06-20 |
发明(设计)人: | 石超;郭舒予;侯鹏翔;刘畅;成会明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院金属研究所 |
主分类号: | G01N21/65 | 分类号: | G01N21/65 |
代理公司: | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙)21234 | 代理人: | 张志伟 |
地址: | 110016 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及柔性、透明气体传感器领域,具体为一种基于半导体性单壁碳纳米管的柔性、透明气体传感器及其制备方法,利用半导体性单壁碳纳米管柔性透明薄膜构建高性能柔性气体传感器。以半导体性单壁碳纳米管作为气体感应材料,利用浮动催化剂化学气相沉积法制备并收集半导体性单壁碳纳米管薄膜,经热压转移或喷涂工艺制备担载于柔性透明基体上的半导体性单壁碳纳米管柔性、透明薄膜,再利用银胶或电镀方式连接导线与外部的输出设备相连接,完成半导体性单壁碳纳米管的柔性、透明气体传感器基元的组装。本发明实现小而轻、柔性、透明、可弯折、高性能气体传感器的制备,突破目前金属氧化物气体传感器在柔性、透明、可弯折、重量等方面的局限性。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 半导体 性单壁碳 纳米 柔性 透明 气体 传感器 | ||
【主权项】:
一种基于半导体性单壁碳纳米管的柔性、透明气体传感器,其特征在于,以半导体性单壁碳纳米管作为气体感应材料,利用浮动催化剂化学气相沉积法制备并收集半导体性单壁碳纳米管薄膜,经热压转移或喷涂工艺制备担载于柔性透明基体上的半导体性单壁碳纳米管柔性、透明薄膜,再利用银胶或电镀方式连接导线与外部的输出设备相连接,完成半导体性单壁碳纳米管的柔性、透明气体传感器基元的组装;所述的气体感应材料为半导体性单壁碳纳米管,其中半导体性碳纳米管根数含量大于90%;所述的半导体性单壁碳纳米管直接利用铝箔收集为薄膜宏观体,再经提纯、热压转移至柔性、透明基体上,形成复合膜;或者,所述的半导体性单壁碳纳米管直接收集网状宏观体,再经提纯、分散、喷涂在柔性透明基体上,形成复合膜;将所获得的复合膜通过裁减,于两端配置石墨电极或电镀电极,并使用银胶或电镀方式连接铜、银或金导线与外部的输出设备相连接。
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