[发明专利]元器件真空兼容性评估实验平台在审
| 申请号： | 201510072579.7 | 申请日： | 2015-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN104635090A | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 谢耀;周烽;王辉;王丽萍;金春水 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 元器件真空兼容性评估实验平台，涉及真空技术领域，解决现有元器件真空兼容性评估实验平台进行实验过程中，存在污染、腐蚀光学元件，减少其寿命，甚至导致元件无法正常工作等问题，真空获取系统包括无油双测涡旋泵和分子泵，真空腔体包括主腔体和副腔体，无油双测涡旋泵与分子泵连接；主腔体和副腔体连接，分子泵包括泵体和分子泵电源，分子泵泵体连接到主腔体上，主腔体顶部设置真空计电阻规和放气阀，副腔体顶部设置真空计电离规，副腔体一侧由接口法兰密封，在接口法兰上设置航空插头，副腔体的另一侧通过三通法兰连接质谱仪，三通法兰的另一法兰口连接真空规；真空规与质谱仪连接并通过电脑控制。本发明能够实现高洁净度的本底真空。 | ||
| 搜索关键词： | 元器件 真空 兼容性 评估 实验 平台 | ||
【主权项】：
一种元器件真空兼容性评估实验平台，包括真空获取系统、真空腔体、真空计(11)、质谱仪(6)及真空规(7)；其特征是，真空获取系统包括作为前级泵的无油双测涡旋泵(4)和作为次级泵的分子泵(3)，所述真空腔体包括主腔体(2)和副腔体(1)，所述的无油双测涡旋泵(4)通过波纹管与分子泵(3)连接；所述主腔体(2)和副腔体(1)通过波纹管连接，所述的分子泵(3)包括泵体和分子泵电源(5)，所述的分子泵泵体通过波纹管和连接法兰连接到主腔体(2)上，所述主腔体(2)顶部设置真空计电阻规(9)和放气阀(13)，副腔体(1)顶部设置真空计电离规(10)，所述真空计电阻规(9)与真空计电离规(10)通过真空计(11)连接，所述副腔体(1)一侧由接口法兰(8)密封，在接口法兰(8)上设置航空插头用于连接待评估电子元器件和外部控制器及监控设备，所述副腔体(1)的另一侧通过三通法兰连接质谱仪(6)，所述三通法兰的另一法兰口连接真空规(7)；所述真空规(7)与质谱仪(6)通过数据线连接并通过电脑(12)控制。
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