[发明专利]用于大口径非球面光学元件的自适应环形抛光装置

摘要

本发明公开了用于大口径非球面光学元件的自适应环形抛光装置，包括主轴、工件电机、工件盘、修整电机、支架、修整盘、抛光模、能动磨盘、回转电机和底座等；主轴和回转电机分别固定于底座；支架通过轴承安装于主轴，并通过传动系统和回转电机转轴连接；能动磨盘安装于主轴顶端，抛光模贴附于能动磨盘盘面；工件电机和修整电机安装于支架，且转轴分别安装有工件盘和修整盘；工件安装于工件盘底面。工作时，工件被加工面、修整盘底面与抛光模表面贴合，回转电机带动支架旋转，工件电机和修整电机带动工件和修整盘旋转；调整能动磨盘，使抛光模在与工件接触区域随工件面形实时变化，同时在与修整盘接触区域实现平面变形，完成精密去除。本发明在使用较少运动轴情况下，能够实现多类型元件形面的精密加工。

主权项

用于大口径非球面光学元件的自适应环形抛光装置，其特征在于，包括主轴、工件电机、工件盘、修整电机、支架、修整盘、抛光模、能动磨盘、回转电机和底座等；上述组成部分的连接关系为：形变系统组包括多个形变系统，每个形变系统包括形变驱动器、立柱和拉绳；形变驱动器是由步进电机、螺纹丝杆、螺纹丝扣、连接杆、短连杆、长连杆、活动铰链、滑槽和绳槽构成；拉绳的一端固定在立柱上，另一端固定在长连杆上；所述主轴和回转电机固定于底座；支架通过轴承安装于主轴，并通过传动系统和回转电机转轴连接；能动磨盘安装于主轴顶端，抛光模贴附于能动磨盘盘面；形变系统组和能动磨盘盘面构成能动磨盘，且形变系统组位于能动磨盘盘面底部；工件电机和修整电机安装于支架，工件电机转轴与工件盘固定，修整电机转轴与修整盘固定；工件固定于工件盘底面；本发明所述用于大口径非球面光学元件的自适应环形抛光装置的工作过程如下：工作前，能动磨盘处于自由状态；工作时，工件被加工面、修整盘底面与抛光模表面贴合，回转电机带动支架旋转，支架带动工件和修整盘公转；工件电机和修整电机分别带动工件和修整盘自转；根据被加工工件面形，控制能动磨盘实时改变能动磨盘盘面的面形，使与工件接触区域的抛光模实时变化，从而提高抛光模与工件面形的吻合程度，实现高精密加工；同时控制能动磨盘使抛光模与修整盘接触区域快速恢复为平面状态，达到抛光模面形修整的效果。