[发明专利]卫星金属表面的二次电子发射的测量装置及其使用方法在审
| 申请号： | 201510073081.2 | 申请日： | 2015-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN105987924A | 公开（公告）日： | 2016-10-05 |
| 发明（设计）人： | 杨垂柏;孔令高;张珅毅;张斌全;荆涛;关燚炳;曹光伟;孙莹;梁金宝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空间科学与应用研究中心 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人： | 王宇杨;王敬波 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种用于卫星金属表面的二次电子发射的测量装置，包括：粒子枪、真空罐、转台、束流检测仪、电流检测仪和控制台，其中：粒子枪用于输出测试所需要的包括电子或离子的粒子束流；真空罐用于为测试过程提供真空腔体空间，且粒子枪与真空罐壁通过粒子输运管道连接；转台，安装于真空罐的底部，用来为待测金属样品和束流检测仪、粒子束流提供适当配合位置；束流检测仪用于测量由粒子输运管道出射而运动至金属表面的粒子流的强度；电流检测仪用于检测入射粒子电荷流与金属样品表面发射的二次电子流的叠加电流；控制台用于对束流检测仪、电流检测仪进行数据采集，并控制待测金属样品和电流检测仪的电位。 | ||
| 搜索关键词： | 卫星 金属表面 二次电子 发射 测量 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种用于卫星金属表面的二次电子发射的测量装置，其特征在于包括：粒子枪、真空罐、转台、束流检测仪、电流检测仪和控制台，其中：粒子枪用于输出测试所需要的包括电子或离子的粒子束流；真空罐用于为测试过程提供真空腔体空间，且粒子枪与真空罐壁通过粒子输运管道连接；转台，安装于真空罐的底部，用来为待测金属样品和束流检测仪、粒子束流提供适当配合位置；束流检测仪用于测量由粒子输运管道出射而运动至金属表面的粒子流的强度；电流检测仪用于检测入射粒子电荷流与金属样品表面发射的二次电子流的叠加电流；控制台用于对束流检测仪、电流检测仪进行数据采集，并控制待测金属样品和电流检测仪的电位。
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