[发明专利]一种远紫外宽带反射滤光片有效
| 申请号： | 201510073129.X | 申请日： | 2015-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN104730608B | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 王孝东;陈波;王海峰;何飞;刘世界;郑鑫;马月英 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/26 | 分类号： | G02B5/26 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙)22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种远紫外宽带反射滤光片，包括基底和Al/MgF2非周期多层膜；所述Al/MgF2非周期多层膜设置在所述基底上；所述Al/MgF2非周期多层膜由交替设置的Al膜和MgF2膜组成，其中Al膜的光学厚度为L，MgF2膜的光学厚度为H，满足H>L；远离所述基底的最后一层膜为MgF2膜。本发明在不增加光学元件，也不增加额外的加工步骤的基础上，制作Al/MgF2非周期多层膜，通过抑制带外波段反射率，提高广角极光成像仪成像质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 宽带 反射 滤光 | ||
【主权项】：
一种远紫外宽带反射滤光片，其特征在于，包括：基底和Al/MgF2非周期多层膜；所述Al/MgF2非周期多层膜设置在所述基底上；所述Al/MgF2非周期多层膜由交替设置的Al膜和MgF2膜组成，其中Al膜的光学厚度为L，MgF2膜的光学厚度为H，满足H>L；远离所述基底的最后一层膜为MgF2膜；H和L满足关系式为：H+L＝0.5λr，其中，λr为工作波长。
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