[发明专利]纳米硅硼浆及其应用于制备PERL太阳能电池的方法

摘要

本发明公开了一种纳米硅硼浆及其应用于制备PERL太阳能电池的方法以及PERL电池的结构，本发明采用适合工业化量产的丝网印刷技术，将纳米硅硼浆印刷于硅片表面，通过高温扩散或激光掺杂工艺路线完成局域硼扩散。避免使用毒性很强的三溴化硼气体扩散源，以及与其相应的掩膜、刻蚀、清洗等复杂工艺步骤来实现局域硼扩散。与生产PERC电池相比，本发明公开的PERL电池生产工艺仅需增加一台印刷机和烘干炉，即可完成PERC电池的升级并实现电池效率提升。

主权项

一种纳米硅硼浆，其特征在于，按重量配比，含有10～50份纳米硅粉、20～100份溶剂、0～20份添加剂，纳米硅的粒径为10～200纳米；其中，所述纳米硅粉含有单质硼或硼化合物或单质硼和硼化合物的混合物，其组成为50‑100份硅、0.05‑50份硼、0‑50份硼化合物；所述硼化合物含有硼化硅或三氧化二硼或二者混合物。