[发明专利]用于处理衬底载体内的衬底的夹紧机构

摘要

本发明提供了一种用于在超声安装过程期间将衬底固定在衬底载体内的方法和夹紧装置。该夹紧装置可包括具有顶板和底板的衬底载体，该顶板和该底板形成腔，所述腔的尺寸被设计为保持衬底。将夹紧板定位在与底板相对的顶板的一侧上，该夹紧板具有一对夹紧构件和与腔对准的开口，该一对夹紧构件中的每个夹紧构件朝开口的中心延伸并穿过腔，以便夹紧构件使衬底的通过开口被暴露的部分压靠底板。该方法可包括提供具有开口的夹紧板并且将一对弹性臂安装至该夹紧板，该开口被配置为与形成于衬底载体中的腔对准。

主权项

一种用于在超声安装过程期间将衬底固定在衬底载体内的夹紧装置，所述夹紧装置包括：具有顶板和底板的衬底载体，所述顶板具有第一侧和第二侧，所述第一侧面向与所述第二侧的方向相对的方向，并且其中当所述顶板的所述第一侧定位在所述底板上时，所述顶板和所述底板形成腔，所述腔的尺寸被设计为将衬底保持在所述腔内；以及尺寸被设计为定位在所述顶板的所述第二侧上的夹紧板，所述夹紧板具有一对夹紧构件和与所述腔对准的开口，所述一对夹紧构件中的夹紧构件中的每个夹紧构件的尺寸被设计为朝所述开口的中心延伸并穿过所述腔，使得当衬底被定位在所述腔内时，所述夹紧构件使所述衬底的通过所述开口被暴露的部分压靠所述底板。