[发明专利]基于层状材料的压力传感器及压电效应测量系统

摘要

一种基于层状材料的压力传感器及压电效应测量系统，该压力传感器包括：绝缘层，绝缘层上刻蚀有一条沟道；二维材料薄膜层，二维材料薄膜层的两端横跨沟道设置于所述绝缘层上，二维材料薄膜层的中间部分悬浮在所述沟道上；在垂直于二维材料薄膜层的压力作用下，二维材料薄膜层中各原子层之间的间距以及各原子层内原子间的间距发生改变，使得二维材料薄膜层的电阻发生改变；金属电极层，包括源电极层及漏电极层，源电极层设置在所述沟道一侧的所述绝缘层上，并覆盖在二维材料薄膜层的一端上；漏电极层设置在所述沟道另一侧的所述绝缘层上，并覆盖在所述二维材料薄膜层的另一端上。本发明与传统压电元件相比，体积更小，灵敏度更高。

主权项

一种基于层状材料的压力传感器，其特征在于，所述的压力传感器包括：绝缘层，所述绝缘层上刻蚀有一条沟道；二维材料薄膜层，所述二维材料薄膜层的两端横跨所述沟道设置于所述绝缘层上，所述二维材料薄膜层的中间部分悬浮在所述沟道上；在垂直于所述二维材料薄膜层的压力作用下，所述二维材料薄膜层中各原子层之间的间距以及各原子层内原子间的间距发生改变，使得所述二维材料薄膜层的电阻发生改变；金属电极层，包括源电极层及漏电极层，所述源电极层设置在所述沟道一侧的所述绝缘层上，并覆盖在所述二维材料薄膜层的一端上；所述漏电极层设置在所述沟道另一侧的所述绝缘层上，并覆盖在所述二维材料薄膜层的另一端上。