[发明专利]一种多功能渗炉及渗镀镀膜一体化方法

摘要

本发明涉及渗炉及渗镀镀膜一体化方法，所述渗炉包括上炉体和下炉体、机架、电控组件、温控组件、水循环组件及真空供应组件，上炉体内绝缘固定有渗金属源极及镀膜阴极，渗金属源极上设置有多组渗金属靶，镀膜阴极设置有多组镀膜靶，下炉体内绝缘固定有渗镀阴极，渗镀阴极上设置有多组用于安装待渗透材料的工件架，电控组件包括渗镀阴极电源、镀膜电源及渗镀源极电源，贯穿渗炉主体还设置有温度探测器，氩气管接口和炉内真空管接口，所述渗镀镀膜一体化方法包括离子氮化‑渗金属同步复合渗、高真空渗金属处理及高真空镀膜处理等步骤；利用本发明可以实现在一个炉内可以进行低真空离子氮化‑渗金属同步复合渗、高真空渗金属、高真空离子镀膜的功能。

主权项

一种多功能渗炉，其特征在于：包括渗炉主体、机架、电控组件、温控组件、水循环组件及真空供应组件；所述渗炉主体包括上炉体和下炉体，所述上炉体固定于机架上方，下炉体活动连接于机架下方，所述机架上设置有用于驱动下炉体与上炉体扣合的驱动组件，所述上炉体与下炉体的结合位置设置有密封橡胶；所述上炉体内绝缘固定有渗金属源极及镀膜阴极，所述渗金属源极在靠近下炉体一侧设置有多组渗金属靶，所述镀膜阴极在靠近下炉体一侧设置有多组镀膜靶，所述上炉体外设置有渗金属源极接口及镀膜阴极接口，所述渗金属源极接口贯穿上炉体体壁与渗金属源极连接，所述镀膜阴极接口贯穿上炉体体壁与镀膜阴极连接，所述渗金属源极接口、镀膜阴极接口均与上炉体体壁绝缘并密封；所述上炉体的炉壁由三层金属材料焊接而成，炉壁由外到内形成互不相通的上部外腔和上部内腔，所述上部外腔与上炉体外壁连通设置有第一进水接口和第一出水接口，所述第一进水接口和第一出水接口分别与水循环组件的出口和进口连接，所述上部内腔与上炉体外壁连通设置有上部内腔真空接口；所述下炉体内绝缘固定有渗镀阴极，所述渗镀阴极在靠近上炉体一侧设置有多组用于安装待渗透材料的工件架，所述下炉体外设置有渗镀阴极接口，所述渗镀阴极接口穿过下炉体体壁与渗镀阴极连接，所述渗镀阴极接口与下炉体体壁绝缘并密封；所述下炉体的炉壁由三层金属材料焊接而成，炉壁内由外到内形成互不相通的下部外腔和下部内腔，所述下部外腔与下炉体外壁连通设置有第二进水接口和第二出水接口，所述第二进水接口和第二出水接口分别与水循环组件的出口和进口连接，所述下部内腔与下炉体外壁连通设置有下部内腔真空接口；所述电控组件包括渗镀阴极电源、镀膜电源及渗镀源极电源，所述渗镀阴极电源的正极与渗镀源极电源的正极导通并接地，渗镀阴极电源的负极与镀膜电源的正极导通，并与渗镀阴极接口连接，所述镀膜电源的负极与镀膜阴极接口连接，渗镀源极电源的负极与渗金属源极接口连接；贯穿所述渗炉主体还设置有温度探测器、氩气管接口、氮气管接口和炉内真空管接口，所述温度探测器、氩气管接口、氮气管接口及炉内真空管接口与渗炉主体体壁绝缘并密封，所述温度探测器与温控组件连接，与所述氩气管接口连接设置有氩气罐，与所述氮气管接口连接设置有氮气罐；所述上部内腔真空接口、下部内腔真空接口及炉内真空管接口均与所述真空供应组件连接。