[发明专利]一种基于扭转双层石墨烯的光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于扭转双层石墨烯的光电探测器及其制备方法。它的制备方法包括如下步骤：1)在扭转双层石墨烯上涂覆光敏材料，然后在所述扭转双层石墨烯上刻蚀，并进行显影、定影，做出电极图案；2)将经步骤1)处理的所述扭转双层石墨烯的所述电极图案上，进行蒸镀金属得到电极，即得到所述光电探测器。本发明通过制备得到特定角度的扭转角双层石墨烯，其制备的光电探测器件具有很高迁移率，对特定波长光具有高效的光电探测效率，光电响应平均增强，且具有极低的暗电流，以及无需偏压、栅压提供额外能量的优点。

主权项

一种基于扭转双层石墨烯的光电探测器的制备方法，包括如下步骤：1)在扭转双层石墨烯上涂覆光敏材料，然后在所述扭转双层石墨烯上刻蚀，并进行显影、定影，做出电极图案；2)在经步骤1)处理的所述扭转双层石墨烯的所述电极图案上，蒸镀金属得到电极，即得到所述光电探测器。