[发明专利]一种线切割用托板的脱胶方法及托板脱胶溶液

摘要

本发明提供了一种托板脱胶溶液，所述托板脱胶溶液包括有机酸和乙醇胺类物质，其中，有机酸的质量浓度为3％-20％，乙醇胺类物质的质量为有机酸的10％-20％，乙醇胺类物质为单乙醇胺、二乙醇胺和三乙醇胺中的一种或多种，所述有机酸为柠檬酸或乳酸。本发明还提供了一种线切割用托板的脱胶方法，将待脱胶托板放入装有上述托板脱胶溶液的反应容器中进行脱胶，脱胶的温度为80-100℃，脱胶时间为15-30min，所述脱胶还可配以超声波作用和或鼓泡作用而进行，最后得到脱胶后的托板。本发明所述托板脱胶溶液的配比简单，成本低，脱胶效率高；所述托板脱胶方法简单，脱胶温度低、时间短，提高了托板的利用率。

主权项

一种线切割用托板的脱胶方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)取一反应容器，向其中注入一定量的水，并加入有机酸及乙醇胺类物质，得到托板脱胶溶液，其中，有机酸的质量浓度为3％‑20％，乙醇胺类物质的质量为有机酸的10％‑30％，乙醇胺类物质为单乙醇胺、二乙醇胺和三乙醇胺中的一种或多种；(2)将待脱胶托板放入装有上述托板脱胶溶液的反应容器中进行脱胶，脱胶的温度为80‑100℃，脱胶时间为15‑30min；(3)将步骤(2)处理后的托板从反应容器中取出，去除托板上的粘胶板及胶条，清洗，得到脱胶后的托板。