[发明专利]基板检查探测装置和基板检查方法在审
| 申请号： | 201510079222.1 | 申请日： | 2015-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN104950484A | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 相良智行 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 权鲜枝 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种基板检查探测装置和基板检查方法，在重新调整端子和探测器的相对位置时，不需要对准用的CCD照相机、促动机构就可实现检查。基板检查探测装置具备与检查用端子部(7)的构成端子的排列间距对应的探测器群(A、C)，探测器群(A、C)在端子的排列方向上错开，设有测量检查用端子部(7)的2个端子间的电阻值R的电阻测量部(12)，并且针对各端子设有切换开关(11)。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 探测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板检查探测装置，具备检查单元，上述检查单元具有与被检查基板上的检查用的端子部接触的探测器，上述基板检查探测装置检查上述端子部与上述探测器的导通，其特征在于，具备多个探测器群，各个上述探测器群中的上述探测器按照构成上述端子部的多个端子彼此的排列间距而配置，不同的上述探测器群中的上述探测器彼此在端子的排列方向上错开配置，设有：连接状态确认部，其确认上述多个探测器群中的至少1个探测器群的电连接状态；以及切换部，其针对各端子将与上述检查单元电连接的探测器群切换为其它探测器群。
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