[发明专利]制备化学机械抛光层的改进方法有效
| 申请号： | 201510079970.X | 申请日： | 2015-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN104842260B | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | D·科莱萨尔;A·萨拉弗纳斯;A·塞金;R·L·波斯特 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;B24B37/22 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 项丹,江磊 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及制备化学机械抛光层的改进方法。本发明提供了一种用于对基材进行抛光的抛光层的制备方法，所述方法包括提供液体预聚物材料；提供多个空心微球体；使得所述多个空心微球体与真空接触，以形成多个经接触的空心微球体；用二氧化碳气氛处理所述多个经接触的空心微球体，以形成多个经处理的空心微球体；使得所述液体预聚物材料与所述多个经处理的空心微球体结合，以形成可固化混合物；允许所述可固化混合物经受反应，以形成固化的材料，其中，所述反应允许在形成所述多个经处理的空心微球体之后的<24小时开始；以及从所述固化的材料得到至少一层抛光层；其中所述至少一层抛光层具有适合对基材进行抛光的抛光表面。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 化学 机械抛光 改进 方法 | ||
【主权项】：
一种形成用于对基材进行抛光的抛光层的方法，所述基材选自磁性基材、光学基材和半导体基材中的至少一种基材，所述方法包括：提供液体预聚物材料，所述液体预聚物材料发生反应以形成包括聚氨酯的材料；提供多个可热膨胀空心微球体，所述多个可热膨胀空心微球体中的每一个具有聚偏二氯乙烯/聚丙烯腈共聚物壳，所述聚偏二氯乙烯/聚丙烯腈共聚物壳包封异丁烷；使得多个可热膨胀空心微球体与真空接触以形成多个经接触的空心微球体；用二氧化碳气氛对所述多个经接触的空心微球体进行处理，处理时间为20分钟至<5小时，以形成多个经处理的空心微球体；将所述液体预聚物材料与所述多个经处理的空心微球体结合，以形成可固化混合物；允许所述可固化混合物经受反应，以形成固化的材料，其中，所述反应允许在形成所述多个经处理的空心微球体之后的≤24小时开始；以及从所述固化的材料得到至少一层抛光层；其中所述至少一层抛光层具有适合对基材进行抛光的抛光表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司，未经罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510079970.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：环类零件内孔加工固定夹具
- 下一篇：一种挠性接头细颈磨料流研抛装置
