[发明专利]一种柔性热电薄膜器件有效
| 申请号： | 201510080791.8 | 申请日： | 2015-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN104701449B | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 邓元;祝志祥;陈新;马光;张义政;韩钰;陈保安 | 申请（专利权）人： | 国家电网公司;国网智能电网研究院;北京航空航天大学 |
| 主分类号： | H01L35/02 | 分类号： | H01L35/02;H01L35/14;H01L35/34 |
| 代理公司： | 北京安博达知识产权代理有限公司11271 | 代理人： | 徐国文 |
| 地址： | 100031 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种柔性热电薄膜器件，所述器件包括聚酰亚胺柔性基底、铜电极薄膜、镍过渡层和热电薄膜，所述热电薄膜的颗粒粒径呈梯度排布，所述热电薄膜包括P型热电薄膜和N型热电薄膜，所述P型热电薄膜和N型热电薄膜由铜电极薄膜连接，在柔性基底上形成阵列化排布的、串联的p‑n热电偶对，构成面内型结构的柔性热电薄膜器件。通过调控溅射参数和热处理工艺来优化薄膜材料的微观界面结构，实现无机薄膜在柔性基底上的可靠沉积，获得可靠的高性能柔性热电薄膜器件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 热电 薄膜 器件 | ||
【主权项】：
一种柔性热电薄膜器件，其特征在于：所述器件包括聚酰亚胺柔性基底，在所述基底上依次设置的铜电极薄膜、镍过渡层和热电薄膜，所述热电薄膜的颗粒平均粒径呈梯度增加，所述热电薄膜包括P型热电薄膜和N型热电薄膜，所述P型热电薄膜和N型热电薄膜由铜电极薄膜连接，在柔性基底上形成阵列化排布的、串联的p‑n热电偶对，构成面内型结构的柔性热电薄膜器件。
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