[发明专利]辐射装置的运行方法有效
| 申请号： | 201510081368.X | 申请日： | 2015-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN104851472B | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | J.Z.洛特;K-W.布里登;S.施勒姆普 | 申请（专利权）人： | 贺利氏特种光源有限责任公司 |
| 主分类号： | G21K5/00 | 分类号： | G21K5/00;G21K5/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 杨国治,宣力伟 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 已知的用于以UV辐射器辐射基片的辐射装置的运行方法包括以下方法步骤（a）以额定运行辐射功率来运行UV辐射器，（b）以输入速度连续地将基片输入辐射区域内，（c）在通过UV辐射器确定的辐射区域内辐射基片。为了由此出发说明一种简单并且成本低廉的用于辐射装置的运行方法用以实现制造过程中断之后较短的起动时间，按本发明提出在连续的基片输入中断时断开UV辐射器，其中测量断开的辐射器的辐射器温度，并且采取对应措施阻止辐射器温度下降到低于额定运行温度10℃以上。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射 装置 运行 方法 | ||
【主权项】：
用于以UV辐射器（9a；205a‑205h;405a‑405h；503）辐射基片（2）的辐射装置的运行方法，包括以下方法步骤：（a）以取决于额定运行温度的额定运行辐射功率来运行UV辐射器（9a；205a‑205h;405a‑405h；503），（b）以输入速度连续地将基片（2）输入由UV辐射器（9a；205a‑205h;405a‑405h；503）确定的辐射区域内，（c）在辐射区域内辐射基片（2），其特征在于，在连续的基片输入中断时，断开UV辐射器（9a；205a‑205h;405a‑405h；503），其中，测量断开的UV辐射器（9a；205a‑205h;405a‑405h；503）的辐射器温度，并且采取应对措施阻止辐射器温度下降到低于额定运行温度10℃以上。
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