[发明专利]分区可控的流量调节喷头在审
| 申请号： | 201510081820.2 | 申请日： | 2015-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN105983493A | 公开（公告）日： | 2016-10-05 |
| 发明（设计）人： | 肖东风;贾照伟;王坚;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B05B1/30 | 分类号： | B05B1/30 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆勍 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及微电子集成电路芯片的制造设备。本发明提供了一种分区可控的流量调节喷头，包括进给管、流量控制器、流体腔、阻隔片和出射板，其中流体腔被阻隔片分隔为数个相互独立的隔离区域，进给管分别向各个隔离区域输送流体，位于不同隔离区域内的流体彼此之间无对流或交换，流体在各个隔离区域内的流量由流量控制器分别加以控制；在喷头的出射板上，开设有喷射孔，流体通过隔离区域后由喷射孔排出。本发明中的喷头解决了以往现有技术中喷头的控制模式单一，出射不均匀的棘手问题，尤其适于作为半导体等高精尖设备中的喷气或喷液装置加以使用。 | ||
| 搜索关键词： | 分区 可控 流量 调节 喷头 | ||
【主权项】：
一种分区可控的流量调节喷头，其特征在于，包括进给管、流量控制器、流体腔、阻隔片和出射板，所述流体腔被所述阻隔片分隔为数个相互独立的隔离区域，所述进给管分别向所述隔离区域输送流体，位于所述不同隔离区域内的流体彼此之间无对流或交换，所述流体在各个隔离区域内的流量由所述流量控制器分别加以控制；所述出射板上开设有喷射孔，所述流体通过所述隔离区域后由所述喷射孔排出。
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