[发明专利]一种石墨烯生长炉管内的石英管的清洗方法

摘要

本发明涉及一种石墨烯生长炉管内的石英管的清洗方法，包括以下步骤步骤一，将石墨烯生长炉的炉体升温至600‑900℃并保持恒温，同时向石墨烯生长炉内的石英管内通入氧气，持续时间1‑2小时；步骤二，待石墨烯生长炉的炉体内温度降至室温，使用含有硝酸铁的高岭土擦拭石英管内壁，直至石英管内壁上的附着物消失；步骤三，移除石英管内的高岭土，使用沾取酒精的无尘布擦拭石英管整个腔体；步骤四，待石英管内目检无残留物后，向石英管内通入氮气吹扫。本发明采用氧气燃耗的方法，除去碳物质残留，利用机械摩擦以及化学试剂去除生长基底物质残留，不需采购专用清洗机台，节省不菲的设备购置费，不需拆卸炉体内石英管，节省了设备维护时间。

主权项

一种石墨烯生长炉管内的石英管的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，将石墨烯生长炉的炉体升温至600‑900℃并保持恒温，同时向石墨烯生长炉内的石英管内通入氧气，持续时间1‑2小时；步骤二，待石墨烯生长炉的炉体内温度降至室温，使用含有硝酸铁的高岭土擦拭石英管内壁，直至石英管内壁上的附着物消失；步骤三，移除石英管内的高岭土，使用沾取酒精的无尘布擦拭石英管整个腔体；步骤四，待石英管内目检无残留物后，向石英管内通入氮气吹扫。