[发明专利]一种显微镜下观察立体结构的装置

摘要

一种显微镜下观察立体结构的装置，包括三个移动平台以及旋转单元，其特征在于所述三个移动平台包括依次叠加设置的第一移动平台、第二移动平台和第三移动平台，所述第一移动平台沿X方向移动，第二移动平台沿Y方向移动，第三移动平台沿Z方向移动，所述X、Y和Z三个方向相互两两垂直，所述旋转单元固定于所述第三移动平台上，所述旋转单元包括轴向横向设置、并可绕轴向360度旋转的旋转轴，所述旋转轴的外侧端固定待观察的立体微结构样品。本发明的装置可以实现待测样品360度的旋转，能全方位观测微结构的形貌及尺寸。与扫描电子显微镜相比，具有成本低，操作简便、易于加工制作等突出优点。

主权项

一种显微镜下观察立体结构的装置，包括三个移动平台以及旋转单元(80)，其特征在于：所述三个移动平台包括依次叠加设置的第一移动平台(10)、第二移动平台(20)和第三移动平台(30)，所述第一移动平台(10)沿X方向移动，第二移动平台(20)沿Y方向移动，第三移动平台(30)沿Z方向移动，所述X、Y和Z三个方向相互两两垂直，所述旋转单元(80)固定于所述第三移动平台(30)上，所述旋转单元(80)包括轴向横向设置、并可绕轴向360度旋转的旋转轴(81)，所述旋转轴(81)的外侧端固定待观察的立体微结构样品；所述第一移动平台(10)、第二移动平台(20)和第三移动平台(30)均包括相互平行间隔设置的底板(1)和顶板(2)，所述顶板(2)和底板(1)之间设有侧杆，所述侧杆包括相互交叉并且中间部位相互铰接的第一侧杆(3)和第二侧杆(4)，该第一侧杆(3)的底端与底板(1)相铰接，该第二侧杆(4)的顶端与顶板(2)相铰接，所述顶板(2)与底板(1)的两侧设有分别与顶板(2)和底板(1)垂直的侧面，所述底板(1)的侧面(11)和顶板(2)的侧面(21)上分别设有长条形的第一槽(51)和第二槽(52)，该第一槽(51)和第二槽(52)与底板(1)所在平面和侧杆所在平面的交线相平行延伸，第二侧杆(4)底端的两侧设有分别向两侧延伸并且与第二侧杆(4)垂直的第一连接杆(91)，第一侧杆(3)顶端分别设有向两侧延伸并且与第一侧杆(3)垂直的第二连接杆(92)，所述第一连接杆(91)插入至第一槽(51)内并且沿该第一槽(51)运动，该第二连接杆(92)插入至该第二槽(52)内并且沿该第二槽(52)运动。