[发明专利]玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造装置

摘要

本发明涉及一种玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造装置。本发明能够精度良好地再现所设计的温度分布，且可使产生于搬送薄片玻璃的辊的旋转轴的应力下降。玻璃基板的制造装置具有：成形炉，具有使熔融玻璃溢流而成形连续的薄片玻璃的成形体；以及缓冷炉，一边夹持着薄片玻璃向下方搬送一边进行缓冷。缓冷炉包括：壁，划分供搬送薄片玻璃的炉内及外空间的炉外；旋转轴，贯通壁；辊，设置在旋转轴的前端部且由旋转轴悬臂支撑；以及温度调节机构，以减小旋转轴的长度方向的温度梯度的方式进行调节。

主权项

1.一种玻璃基板的制造方法，在成形炉中使熔融玻璃从成形体溢流而成形连续的薄片玻璃，且在缓冷炉中利用辊夹持着所述薄片玻璃向下方搬送；所述缓冷炉具有壁，该壁划分供搬送所述薄片玻璃的炉内、及外空间的炉外，所述辊由贯通所述壁的中空的旋转轴悬臂支撑，且所述缓冷炉中设置着温度梯度调节机构，该温度梯度调节机构调节在所述旋转轴中的所述旋转轴的长度方向的所述缓冷炉内侧的部分的温度梯度，所述温度梯度调节机构包含：隔热材料，该隔热材料在所述旋转轴的所述缓冷炉内侧的部分至少被覆所述壁侧的端部；供给路，该供给路在设置在中空的所述旋转轴内的内管内将热介质从所述壁侧供给到所述旋转轴的所述辊侧；排出路，该排出路一边使对所述旋转轴的所述辊侧的端部的温度进行调节而使用过的所述热介质在所述内管的外侧面和所述旋转轴的内壁面之间从所述辊侧流向所述壁侧而排出所述热介质，一边通过所述热介质降低所述旋转轴的温度梯度，且所述旋转轴在所述旋转轴的所述缓冷炉内侧的部分中，相对于被覆着所述隔热材料的被覆部分，在所述辊侧设置有未被覆所述隔热材料的未被覆部分，通过所述温度梯度调节机构的所述热介质的流量和所述隔热材料，将所述旋转轴中的所述旋转轴的长度方向的所述缓冷炉内侧的部分的温度梯度之中，在所述被覆部分与所述未被覆部分相接的所述隔热材料的端部位置的所述旋转轴的长度方向的温度梯度调整为1300℃/m以下。