[发明专利]MEMS麦克风及其形成方法有效
| 申请号： | 201510084456.5 | 申请日： | 2015-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN104796832B | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 周文卿 | 申请（专利权）人： | 迈尔森电子（天津）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 应战;骆苏华 |
| 地址： | 300381 天津市南开*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种MEMS麦克风及其形成方法，其中的形成方法包括：提供包括第一表面和第二表面的第一衬底，第一衬底包括至少一层导电层，导电层位于第一衬底的第一表面一侧；提供包括第三表面和第四表面的第二衬底，第二衬底包括第二基底和敏感电极，第二衬底包括敏感区，敏感电极位于敏感区内，敏感电极位于第二衬底的第三表面一侧；将第一衬底的第一表面与第二衬底的第三表面相互固定；之后去除第二基底，形成与第二衬底的第三表面相对的第五表面；在第一衬底和第二衬底的敏感区之间形成空腔；自第二衬底的第五表面一侧形成贯穿至至少一层导电层的第一导电插塞。MEMS麦克风的性能和可靠性提高、尺寸缩小、工艺成本降低。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风的形成方法，其特征在于，包括：提供第一衬底，所述第一衬底包括相对的第一表面和第二表面，所述第一衬底包括至少一层导电层，所述导电层位于所述第一衬底的第一表面一侧；提供第二衬底，所述第二衬底包括相对的第三表面和第四表面，所述第二衬底包括第二基底以及位于第二基底上的敏感电极，所述第二衬底包括敏感区，所述敏感电极位于所述敏感区内，所述敏感电极位于所述第二衬底的第三表面一侧；将第一衬底的第一表面与第二衬底的第三表面相互固定；在将第一衬底的第一表面与第二衬底的第三表面相互固定之后，去除所述第二基底，形成与所述第二衬底的第三表面相对的第五表面；在所述第一衬底和第二衬底的敏感区之间形成空腔；自所述第二衬底的第五表面一侧形成贯穿至至少一层所述导电层的第一导电插塞，所述第一导电插塞用于将所述导电层与敏感电极形成电连接。
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