[发明专利]一种紫外光谱仪光谱分辨力的检测装置及方法

摘要

本发明是一种紫外光谱仪光谱分辨力的检测装置及方法，包括光源、单色仪、中继光学系统、真空平移台、真空舱、隔振台和平台；在隔振台上放置光源、单色仪、真空舱；平台位于真空系统的真空舱中，且平台底部的支柱伸出真空舱并与真空舱外的隔振台固定连接，保证真空舱外光源、单色仪的光学器件和舱内中继光学系统、被测紫外光谱仪的光学器件固定在相同的隔振台基础上；通过波纹管将支柱包裹在真空舱内，使真空舱内形成真空环境；中继光学系统、真空平移台位于真空舱中的平台上；以及被测紫外光谱仪置于真空平移台上，使中继光学系统和被测紫外光谱仪处于真空环境中；根据检测会聚光波长、能量半高宽与焦面线色散参数计算出被测紫外光谱仪分辨力。

主权项

一种紫外光谱仪光谱分辨力的检测装置，其特征在于包括：光源、单色仪、中继光学系统、真空平移台、真空舱、隔振台和平台；在隔振台上放置光源、单色仪、真空舱；平台位于真空系统的真空舱中，且平台的底部的支柱伸出真空舱并与真空舱外的隔振台固定连接，保证真空舱外光源、单色仪的光学器件和舱内中继光学系统、被测紫外光谱仪的光学器件固定在相同的隔振台基础上；通过波纹管将支柱包裹在真空舱内，使真空舱内形成真空环境；中继光学系统、真空平移台位于真空舱中的平台上；以及被测紫外光谱仪置于真空平移台上，使中继光学系统和被测紫外光谱仪处于真空环境中；其中：光源包括连续谱光源和离散谱光源，用于提供检测所需的包含紫外光及可见光的复合光；单色仪，用于接收复合光，生成并出射检测被测紫外光谱仪所需单色光；中继光学系统，用于将单色仪的焦比与被测紫外光谱仪的焦比进行匹配，并将单色光生成并出射检测需要的检测会聚光；被测紫外光谱仪，用于接收检测会聚光，并将检测会聚光的会聚点位置与被测紫外光谱仪的狭缝重合；被测紫外光谱仪的光学器件包括球面光栅、狭缝、图像采集器件；真空舱为真空环境时，当被测紫外光谱仪、中继光学系统和真空平移台的结构及光路结构产生变形时，导致光路产生变化，从而会使会聚点的位置与被测紫外光谱仪入射端的位置分离；真空平移台上放置被测紫外光谱仪，调整真空平移台使检测会聚光的会聚点位置与被测紫外光谱仪入射端的狭缝中心再次重合，检测会聚光入射到狭缝，经过球面光栅色散并照射到图像采集器件上，被测紫外光谱仪在与检测会聚光波长相应的光谱坐标位置形成光谱图像；通过连续谱光源和单色仪测量并得到光谱图像的焦面线色散参数，通过离散谱光源测量光谱图像中的谱线，得到谱线的能量半高宽，根据检测会聚光波长、能量半高宽与焦面线色散参数，计算得出被测紫外光谱仪分辨力。