[发明专利]晶圆存放记录方法、设备和系统有效
| 申请号： | 201510087487.6 | 申请日： | 2015-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN105988442B | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 羌志良;杨子健 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;张永明 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆存放记录方法、设备和系统，该方法包括：接收执行晶圆存放操作的操作请求，其中，该操作请求中携带有执行晶圆存放操作的操作人员的标识信息；判断该标识信息是否属于预设人员标识集合，其中，该预设人员标识集合包括预先设置的允许执行该晶圆存放操作的操作人员的标识信息；若判断出该标识信息属于该预设人员标识集合，则允许该操作人员执行该晶圆存放操作，并在该操作人员完成该晶圆存放操作后，记录该操作人员执行该晶圆存放操作的操作信息；若判断出该标识信息不属于该预设人员标识集合，则禁止该操作人员执行该晶圆存放操作。以准确记录执行晶圆存放的操作人员的操作信息。 | ||
| 搜索关键词： | 存放 记录 方法 设备 系统 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆存放记录方法，其特征在于，包括：接收执行晶圆存放操作的操作请求，其中，所述操作请求中携带有执行晶圆存放操作的操作人员的标识信息；判断所述标识信息是否属于预设人员标识集合，其中，所述预设人员标识集合包括预先设置的允许执行所述晶圆存放操作的操作人员的标识信息；若判断出所述标识信息属于所述预设人员标识集合，则允许所述操作人员执行所述晶圆存放操作，并在所述操作人员完成所述晶圆存放操作后，记录所述操作人员执行所述晶圆存放操作的操作信息；若判断出所述标识信息不属于所述预设人员标识集合，则禁止所述操作人员执行所述晶圆存放操作；其中，在确定所述操作请求携带的标识信息属于所述预设人员标识集合时，活动闸门开启，所述操作人员将装有晶圆的Lot通过腔体的入口放入晶圆加工设备中，当检测到Lot已经放置在所述晶圆加工设备对应的位置上时，则确定所述操作人员完成所述晶圆存放操作，并记录所述操作人员执行所述晶圆存放操作的操作信息。
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