[发明专利]光致抗蚀剂组合物及使用其制造显示基板的方法在审
申请号: | 201510088685.4 | 申请日: | 2015-02-26 |
公开(公告)号: | CN104865793A | 公开(公告)日: | 2015-08-26 |
发明(设计)人: | 金贞元;周振豪;金东敏;金昇起;朴光雨;咸先美 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司;株式会社东进世美肯 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;H01L21/77 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;张英 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供了光致抗蚀剂组合物及使用其制造显示基板的方法。光致抗蚀剂组合物可以包含酚醛清漆树脂、二叠氮化物类光敏剂、以及溶剂。酚醛清漆树脂可以通过包括甲酚混合物、二甲苯酚和水杨醛的单体混合物的缩合反应而制备。 | ||
搜索关键词: | 光致抗蚀剂 组合 使用 制造 显示 方法 | ||
【主权项】:
一种光致抗蚀剂组合物,包含:通过包括甲酚混合物、二甲苯酚和水杨醛的单体混合物的缩合反应制备的酚醛清漆树脂;二叠氮化物类光敏剂;以及溶剂。
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