[发明专利]定制化虚拟图案填充方法有效
| 申请号： | 201510090145.X | 申请日： | 2015-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN105989210B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 樊强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种定制化虚拟图案填充方法，所述定制化虚拟图案填充方法包括用户版图导入步骤、版图图层映射转换步骤、虚拟图案填充步骤、版图合并步骤以及最终版图输出步骤。其中，所述版图图层映射转换步骤在所述虚拟图案填充步骤之前将用户版图图层映射转换为标准版图图层映射，并在所述虚拟图案填充步骤之后将标准版图图层映射转换为用户版图图层映射；以及所述虚拟图案填充步骤采用标准虚拟图案实用程序进行虚拟图案填充。本发明所提供的定制化虚拟图案填充方法能够基于用户需求快速并准确地创建合格的定制化虚拟图案填充方案，不仅效率高，而且质量有保证。 | ||
| 搜索关键词： | 定制 虚拟 图案 填充 方法 | ||
【主权项】：
1.一种定制化虚拟图案填充方法，其特征在于，所述定制化虚拟图案填充方法包括用户版图导入步骤、版图图层映射转换步骤、虚拟图案填充步骤、版图合并步骤以及最终版图输出步骤，其中，所述版图图层映射转换步骤进一步包括输入用户版图图层映射转换步骤和输出虚拟图案版图图层映射转换步骤，其中，所述输入用户版图图层映射转换步骤将所述用户版图导入步骤所导入的用户版图从用户版图图层映射转换为标准版图图层映射；以及所述输出虚拟图案版图图层映射转换步骤将所述虚拟图案填充步骤后所输出的虚拟图案版图从标准版图图层映射转换为用户版图图层映射；以及所述虚拟图案填充步骤采用标准虚拟图案实用程序进行虚拟图案填充。
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