[发明专利]芯片高精度检测用吸料装置有效
申请号: | 201510091597.X | 申请日: | 2015-02-28 |
公开(公告)号: | CN104882391B | 公开(公告)日: | 2018-05-04 |
发明(设计)人: | 易申;钱宝龙 | 申请(专利权)人: | 兴化市华宇电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司32243 | 代理人: | 郭俊玲 |
地址: | 225714 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了芯片高精度检测用吸料装置,连接在检测台的正上方,实现对芯片的单一自动化移动,包括连接在检测台上方的若干个支撑臂,以及套在每一个支撑臂内的吸气装置;每一个吸气装置包括从下往上设置的吸嘴、气缸、活塞、气管,吸嘴连接在气缸底部位置,并设置在检测台的正上方,每一个支撑臂套在其对应的气缸的外部,对其进行固定,活塞套在气缸内上下滑动,气管的一端连接活塞,且其另一端连接抽气泵,抽气泵带动活塞上下运动;本发明的吸料装置连接在检测台的正上方,采用抽吸泵带动吸气装置将放置在芯片检测台上的芯片吸附在吸嘴上,此时移动吸料装置便可以将芯片逐个地移动,提高其自动化检测的程度。 | ||
搜索关键词: | 芯片 高精度 检测 用吸料 装置 | ||
【主权项】:
芯片高精度检测用吸料装置,其特征在于:连接在检测台(1)的正上方,实现对芯片的单一自动化移动,包括连接在检测台(1)上方的若干个支撑臂(2),以及套在每一个所述支撑臂(2)内的吸气装置(3);每一个所述吸气装置(3)包括从下往上设置的吸嘴(4)、气缸(5)、活塞(6)、气管(7),所述吸嘴(4)连接在气缸(5)底部位置,并设置在检测台(1)的正上方,每一个所述支撑臂(2)套在其对应的气缸(5)的外部,对其进行固定,所述活塞(6)套在气缸(5)内上下滑动,所述气管(7)的一端连接活塞(6),且其另一端连接抽气泵(10),所述抽气泵(10)带动活塞(6)上下运动;所述气管(7)与活塞(6)连接位置处还套有限位块(8),所述限位块(8)与支撑臂(2)之间的气缸(5)外还连接弹簧(9);每一个所述支撑臂(2)上还设置有若干个滑槽(21),并其通过其中至少一个滑槽(21)与检测台相连;每一个所述支撑臂(2)通过若干个螺栓(11)穿过其上设置的滑槽(21)与检测台(1)连接固定。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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