[发明专利]有机氨基硅烷及其制备方法

摘要

有机氨基硅烷，例如但不限于二异丙基氨基硅烷(DIPAS)，是用于沉积含硅薄膜例如二氧化硅和氮化硅薄膜的前体。本文描述了通过包含氢化硅烷的硅源经由亚胺的催化氢化硅烷化制备有机氨基硅烷化合物或其他化合物例如有机氨基乙硅烷和有机氨基碳硅烷的方法。

主权项

1.用于制备选自有机氨基硅烷、有机氨基乙硅烷和有机氨基碳硅烷的化合物的方法，所述方法包括下述步骤：使式R‑N＝CR'R”的亚胺与包含氢化硅烷的硅源在包含碱土金属络合物的催化剂存在下、在足以使所述亚胺和硅源反应并提供所述化合物的反应条件下反应，其中R、R’和R”各自独立地选自氢、C_1‑10直链烷基、C_3‑10支链烷基、C_3‑10环烷基、C_2‑10烯基、C_4‑10芳基、C_4‑10杂环基、C_1‑10直链有机氨基、C_2‑10支链有机氨基、甲硅烷基、C_1‑10直链碳硅烷基和C_2‑10支链碳硅烷基，其中R’和R”或R和R’中至少一者连接形成取代或未取代的环状环，或者R’和R”或R和R’均不连接形成取代或未取代的环状环；其中所述催化剂是Mg[N(SiMe₃)₂]₂、Ca[N(SiMe₃)₂]₂、Sr[N(SiMe₃)₂]₂、或其组合；其中所述氢化硅烷具有式R¹R²R³SiH，其中R¹、R²和R³各自独立地选自氢、C_1‑10直链烷基、C_3‑10支链烷基、C_4‑10环烷基、C_2‑10烯基、C_4‑10芳基、C_4‑10杂环基、C_1‑10直链有机氨基、C_2‑10支链有机氨基、甲硅烷基、C_1‑10直链碳硅烷基、和C_2‑10支链碳硅烷基，并且其中R¹和R²、R¹和R³、和R²和R³中至少一者连接形成取代或未取代的环状环，或者R¹和R²、R¹和R³或R²和R³均不连接形成取代或未取代的环状环。