[发明专利]高频振荡电路

摘要

本发明涉及高频振荡电路。在用于ICP发光分析装置的等离子体生成用途等的大功率用的自激式高频振荡电路中，以低廉的成本来稳定地使自激振荡产生。在包括感应线圈(9)、电容器(36)等的LC共振电路(30)中，配置启动用变压器的次级绕组(38)，对与该绕组(38)磁耦合的初级绕组(5)连接由克拉普振荡电路等构成的启动部(6)。仅在启动时的一定期间内，使启动部(6)动作而通过初级绕组(5)、次级绕组(38)在LC共振电路(30)中感应出高频电流。由此，在与初级绕组(32、33、34、35)磁耦合的全桥驱动电路(10)中的各次级绕组(11、14、17、20)中流过电流，在MOSFET(13、16、19、22)的栅极‑源极之间产生电压，MOSFET(13、16、19、22)的导通/截止动作开始，自激振荡开始。

主权项

1.一种自激方式的生成并维持等离子体的高频振荡电路，该高频振荡电路具备：直流电压源、包括线圈与电容器的LC共振电路、包括对从所述直流电压源供给的直流电力进行切换施加到所述LC共振电路的开关元件的开关电路、以及反馈用变压器，其由在所述LC共振电路中包括的所述反馈用变压器的初级绕组、与为了使所述开关元件导通/截止而连接到该开关元件的控制端子的所述反馈用变压器的次级绕组所构成，所述高频振荡电路的特征在于，具备：a)启动用变压器，在所述LC共振电路中连接了所述启动用变压器的次级绕组；以及b)启动单元，为了使该高频振荡电路的自激振荡开始，在启动时的一定期间内，对所述启动用变压器的初级绕组供给可以与所述LC共振电路实现共振的频率的高频电流。