[发明专利]一种分子泵的转子有效
申请号: | 201510092140.0 | 申请日: | 2015-02-28 |
公开(公告)号: | CN104613008B | 公开(公告)日: | 2017-10-24 |
发明(设计)人: | 董欣;郁晋军;朱秀明 | 申请(专利权)人: | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
主分类号: | F04D29/32 | 分类号: | F04D29/32;F04D29/38 |
代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司11260 | 代理人: | 郑立明,陈亮 |
地址: | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种分子泵的转子,在转子的每层叶片之间不留间隙,并去除原分子泵转子中的定片,直接将各层叶片层联接;并通过调整不同层叶片的抽速与压缩比,使所述转子整体各层叶片的抽气效能相互衔接。所述各层转子叶片被设计成相邻层叶片首尾相连的涡轮型结构,并利用光滑连续的曲面连接所述各层转子叶片。通过优化转子叶片的结构,大幅降低加工转子的难度,并降低了分子泵的损坏几率。 | ||
搜索关键词: | 一种 分子 转子 | ||
【主权项】:
一种分子泵的转子,其特征在于,在转子的每层叶片之间不留间隙,并去除原分子泵转子中的定片;并通过调整不同层叶片的抽速与压缩比,使所述转子整体各层叶片的抽气效能相互衔接;其中,所述转子的各层叶片通过沿轴线旋转被设计成相邻层叶片首尾相连的结构;且基于所述相邻层叶片首尾相连的结构,利用光滑连续的曲面连接各层叶片中对应的各组叶片;所述光滑连续的曲面具体为:各层叶片的根部首尾相连后的蒙皮曲面。
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