[发明专利]基板检测装置和基板检测方法有效
| 申请号： | 201510093266.X | 申请日： | 2015-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN104634262B | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 罗鹏;王贺;方鑫;彭佳佳;刘响 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/04 | 分类号： | G01B11/04 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司11262 | 代理人： | 林桐苒,曲鹏 |
| 地址： | 230011 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基板检测装置，包括激光发射单元设置于传输设备的一侧，在传输设备上的每个待测基板运动至检测位置时，向待测基板发出激光；激光接收单元设置于传输设备的另一侧，接收穿过待测基板的激光；计算单元根据激光发射单元发出的激光的强度，和激光接收单元接收的激光的强度，计算激光对于待测基板的透过率，根据透过率判断待测基板中黑矩阵的线宽是否处于预设线宽范围内。通过本发明的技术方案，无需停止传输设备即可对检测传输设备上每个待测基板的黑矩阵的线宽进行检测，并且根据透过率可以准确且快速地计算黑矩阵的线宽。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基板检测装置，其特征在于，包括：计算单元以及对应设置的激光发射单元和激光接收单元，其中，所述激光发射单元设置于传输设备的一侧，在所述传输设备上的每个待测基板运动至检测位置时，向所述待测基板发出激光；所述激光接收单元设置于所述传输设备的另一侧，用于接收穿过所述待测基板的激光；所述计算单元用于根据所述激光发射单元发出的激光的强度，和所述激光接收单元接收的激光的强度，计算激光对于所述待测基板的透过率，将所述透过率换算为所述待测基板中黑矩阵的线宽，并判断所述待测基板中黑矩阵的线宽是否处于预设线宽范围内。
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