[发明专利]一种超宽带减反射膜及其制备方法有效
申请号: | 201510093499.X | 申请日: | 2015-03-02 |
公开(公告)号: | CN104614787A | 公开(公告)日: | 2015-05-13 |
发明(设计)人: | 刘文成;刘学芬 | 申请(专利权)人: | 山东阳谷恒晶光电有限公司 |
主分类号: | G02B1/115 | 分类号: | G02B1/115;C23C14/06;C23C14/08 |
代理公司: | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人: | 吕利敏 |
地址: | 252300 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及一种超宽带减反射膜,包括基体层,在基体层表面设有由MgF2膜层和TiO2膜层交替组成的多层膜结构,且靠近基体层表面的第一层及靠近空气界面的最外层均为MgF2膜层,所述多层膜结构的厚度为340-370nm。本发明实现了对400~800nm超宽波段可见光的高透射率,残余反射率低于0.2%,镀膜层数较少,简化了制造工艺,降低了制造成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 宽带 减反射膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种超宽带减反射膜,其特征在于,包括基体层,在所述基体层表面设有由MgF2膜层和TiO2膜层交替组成的多层膜结构,且靠近所述基体层表面的第一层及靠近空气界面的最外层均为MgF2膜层,所述多层膜结构的厚度为340‑370nm。
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