[发明专利]多测试流程的测试方法在审
| 申请号： | 201510093564.9 | 申请日： | 2015-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN104678290A | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 余琨;张文情;张志勇;祁建华;叶守银;罗斌 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多测试流程的测试方法，包括以下步骤：在待测晶圆上选取多个待测芯片作为第一次采样点；对所述待测晶圆进行第一次测试流程测试，并根据所述第一次采样点在所述第一次测试流程测试中的测试结果，确定第二次采样点；第二次测试流程对所述第二次采样点进行测试。在所述第一次测试流程的测试过程中，根据所述第一次测试流程中的测试结果来灵活的调整所述第二次测试流程所需要的所述第二次采样点，在整个多流程测试过程中，无需人工参与，提高了测试效率，也提高了有效数据的覆盖率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 流程 方法 | ||
【主权项】：
一种多测试流程的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：在待测晶圆上选取多个待测芯片作为第一次采样点；对所述待测晶圆进行第一次测试流程测试，并根据所述第一次采样点在所述第一次测试流程测试中的测试结果，确定第二次采样点；第二次测试流程对所述第二次采样点进行测试。
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