[发明专利]具有非典型图案的光刻胶及其蚀刻基材与形成洞的方法有效
| 申请号： | 201510095706.5 | 申请日： | 2015-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN105988292A | 公开（公告）日： | 2016-10-05 |
| 发明（设计）人： | 黄信斌;徐政业;郑志浩 | 申请（专利权）人： | 华亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/26;G03F1/80;H01L21/027 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具有非典型图案的光刻胶以及其蚀刻基材的方法，所述光刻胶包含第一图案与第二图案。第一图案与第二图案的重叠部分为集合区域，而界定一种非典型图案。非典型图案中的任何一边都不是直线。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 非典型 图案 光刻 及其 蚀刻 基材 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种具有非典型图案的光刻胶，其特征在于，包括：一光刻胶层；一第一图案，位于所述光刻胶中、沿着一第一方向延伸、并包含由一第一材料与一第二材料所界定出的曲线，其中任何一所述第一材料夹置于相邻的所述第二材料之间；一第二图案，位于所述光刻胶中、沿着不平行于所述第一方向的一第二方向延伸、并包含由一第三材料与一第四材料所界定出的曲线，其中任何一所述第三材料夹置于相邻的所述第四材料之间；以及一集合区域，位于所述第二材料以及所述第四材料中而界定出一非典型图案，其中所述非典型图案的任何一边都是曲线。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华亚科技股份有限公司，未经华亚科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510095706.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种变形框架整形装置
- 下一篇：一种线外汽车冲床台车PIN升降测试机构
