[发明专利]电化学电镀装置及其阳极部件有效
| 申请号： | 201510096086.7 | 申请日： | 2015-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN105986304A | 公开（公告）日： | 2016-10-05 |
| 发明（设计）人： | 杨森闵;蔡濬玮;廖延士 | 申请（专利权）人： | 华亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/10 | 分类号： | C25D17/10;C25D17/00;C25D21/12 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及电化学电镀装置及其阳极部件。本发明揭示一种阳极部件，可应用于一电化学电镀装置，包括：一阳极基部、一阳极室、及一延长构件。阳极基部具有一阳极液输入端，阳极室设置于阳极基部上，用于容纳一阳极液，且阳极室具有多个被施加不同偏压的厚度控制区域，延长构件连接于阳极液输入端，延长构件具有多个对应于该多个厚度控制区域的流道，其中，延长构件的长度与阳极液的阻抗系数呈正相关，且延长构件的长度与该多个流道的内径呈负相关。藉此，能提高电镀铜膜层的厚度均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 电化学 电镀 装置 及其 阳极 部件 | ||
【主权项】：
一种阳极部件，应用于一电化学电镀装置，其特征在于，该阳极部件包括：一阳极基部，具有一阳极液输入端；一阳极室，设置于该阳极基部上，用于容纳一阳极液，该阳极室具有被施加不同偏压的多个厚度控制区域；以及一延长构件，连接于该阳极液输入端，该延长构件具有对应于该多个厚度控制区域的多个流道，其中，该延长构件的长度与该阳极液的阻抗系数呈正相关，且该延长构件的长度与该多个流道的内径呈负相关。
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