[发明专利]一种激光拉曼光谱气体分析仪

摘要

本发明提供一种激光拉曼光谱气体分析仪，包括激光器、光学谐振腔、空心反射管、散射光收集装置和光谱仪；激光器发射激光束到光学谐振腔；光学谐振腔由光学谐振腔反射镜构成；空心反射管为一根容纳待分析气体的空心管子，放置在光学谐振腔其中两个光学谐振腔反射镜之间，光学谐振腔内激光束从空心反射管一端进入，从另一端射出；光学谐振腔内激光束在空心反射管内壁内部传播，同管内待分析气体分子作用产生散射光；散射光在空心反射管内部经过管壁多次反射，从空心反射管两端射出。该仪器采用压电陶瓷精确调整光学谐振腔腔长，锁定外部入射激光束纵模，腔内形成增强激光光束；增强效果是单纯光学谐振腔增强技术的几十倍或更高，提高了气体探测的灵敏度。

主权项

1.一种激光拉曼光谱气体分析仪，其特征在于，包括激光器、光学谐振腔、空心反射管、散射光收集装置和光谱仪；激光器发射激光束到光学谐振腔；光学谐振腔由光学谐振腔反射镜构成；空心反射管为一根容纳待分析气体的空心管子，放置在光学谐振腔中两个光学谐振腔反射镜之间，光学谐振腔内激光束从空心反射管一端进入，从另一端射出；光学谐振腔内激光束在空心反射管内壁内部传播，同管内待分析气体分子作用产生散射光；散射光在空心反射管内部经过管壁多次反射，从空心反射管两端射出；所述空心反射管一端与相邻光学谐振腔反射镜之间设有一斜面反射镜，其上开有一孔，光学谐振腔内激光束从孔中穿过；从空心反射管出射的散射光经斜面反射镜反射后，同激光光路分离并输入到散射光收集装置；所述空心反射管另一端和相邻光学谐振腔反射镜之间设有一个凹面反射镜，其上开有一孔，光学谐振腔内激光束从其中穿过，散射光经凹面反射镜反射回空心反射管内部。