[发明专利]激光气相沉积方式修补白缺陷的方法

摘要

本发明公开了一种激光气相沉积方式修补白缺陷的方法，包括在靠近所述白缺陷的一角设置修补起点，在靠近所述白缺陷的所述修补起点的对角设置修补终点，使得在所述白缺陷所在平面上，以所述修补起点沿横向延伸的直线、所述修补起点沿纵向延伸的直线、所述修补终点沿横向延伸的直线、所述修补终点沿纵向延伸的直线围成的区域为扫描修补区域，所述白缺陷完全位于所述扫描修补区域内；采用激光气相沉积方式在所述扫描修补区域内从所述修补起点扫描修补至所述修补终点，使所述白缺陷表面完全覆盖修补薄膜完成所述修补。本发明实施例的激光气相沉积方式修补白缺陷的方法，通过扫描修补的方式，可以修补大尺寸的白缺陷。

主权项

一种激光气相沉积方式修补白缺陷的方法，其特征在于，包括：在靠近所述白缺陷的一角设置修补起点，在靠近所述白缺陷的所述修补起点的对角设置修补终点，使得在所述白缺陷所在平面上，以所述修补起点沿横向延伸的直线、所述修补起点沿纵向延伸的直线、所述修补终点沿横向延伸的直线、所述修补终点沿纵向延伸的直线围成的区域为扫描修补区域，所述白缺陷完全位于所述扫描修补区域内；采用激光气相沉积方式在所述扫描修补区域内从所述修补起点扫描修补至所述修补终点，使所述白缺陷表面完全覆盖修补薄膜完成所述修补；所述扫描修补的速度为7～11μm/s，所述扫描修补的过程中激光功率为1.8～2.2mw；所述扫描修补采用的载流气体的压强为0.15～0.20mPa，流量比为40‑60％。