[发明专利]基于Ⅱ型能带匹配的共振隧穿二极管近红外探测器在审

专利信息
申请号: 201510098628.4 申请日: 2015-03-06
公开(公告)号: CN104659146A 公开(公告)日: 2015-05-27
发明(设计)人: 裴康明;倪海桥;詹锋;董宇;牛智川 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01L31/11 分类号: H01L31/11;H01L31/0352
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任岩
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种基于II型能带匹配的共振隧穿二极管近红外探测器,包括:一衬底;一发射极接触层,其制作在衬底上;一发射区,其制作在发射极接触层上,发射极接触层另一侧形成一台面;一隔离层,其制作在发射极上;一双势垒结构,其制作在隔离层上;一吸收层,其制作在双势垒层结构上;一集电区,其制作在吸收层上;一上电极,其制作在集电区上;一下电极,其制作在发射极接触层另一侧的台面上。本发明能够更好地影响双势垒结构的电势,进而增大光生电流,产生明显的可探测电信号。探测器在室温下具有很高的响应度和灵敏度。
搜索关键词: 基于 能带 匹配 共振 二极管 红外探测器
【主权项】:
一种基于II型能带匹配的共振隧穿二极管近红外探测器,包括:一衬底;一发射极接触层,其制作在衬底上;一发射区,其制作在发射极接触层上,发射极接触层另一侧形成一台面;一隔离层,其制作在发射极上;一双势垒结构,其制作在隔离层上;一吸收层,其制作在双势垒层结构上;一集电区,其制作在吸收层上;一上电极,其制作在集电区上;一下电极,其制作在发射极接触层另一侧的台面上。
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