[发明专利]用于微制造的断裂测试结构的系统和方法有效
| 申请号： | 201510099276.4 | 申请日： | 2015-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN104891421B | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | J.布吕克纳;A.德赫;C.格拉策 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;G01N3/08;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 蒋骏,胡莉莉 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于微制造的断裂测试结构的系统和方法。根据实施例，一种微制造的测试结构包括机械耦合在两个刚性锚部之间并布置在衬底之上的结构。该结构从衬底被释放并且包括机械耦合在所述两个刚性锚部之间的测试层。该测试层包括具有第一截面积的第一区域和具有比第一截面积小的第二截面积的收缩区域。该结构还包括布置在测试层的表面上与第一区域相邻的第一张应力层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 断裂 测试 结构 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种微制造的测试结构，包括：机械耦合在两个刚性锚部之间并布置在衬底之上的结构，其中所述结构从所述衬底被释放，所述结构包括：机械耦合在所述两个刚性锚部之间的测试层，其中所述测试层包括具有第一截面积的第一区域和具有比第一截面积小的第二截面积的收缩区域；和布置在所述测试层的表面上与第一区域相邻的第一张应力层。
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