[发明专利]一种表征石墨烯结晶状态的简单方法

摘要

本发明公开了一种石墨烯结晶状态的表征方法，用气体刻蚀法对石墨烯生长样品进行刻蚀，石墨烯产生多个六边形刻蚀区，分析六边形刻蚀区边角对应取向，若六边形刻蚀区边角对应取向一致则生长样品为单晶，若六边形刻蚀区边角对应取向不一致则生长样品为多晶。本发明不需要大型高精密的表征设备，成本低，一般石墨烯生长的真空加热炉即可满足要求，采用氢气气氛高温下刻蚀石墨烯即可判断石墨烯的结晶状态，因此可以做到生长完后直接原位刻蚀表征石墨烯的结晶性能，方法非常简便易行。不需要制备专用表征样品，避免了采用处理后的专用样品在表征过程中产生的误差。

主权项

一种表征石墨烯结晶状态的简单方法，其特征是：用氢气对石墨烯生长样品进行刻蚀，石墨烯产生多个六边形刻蚀区，分析六边形刻蚀区边角对应取向，若六边形刻蚀区边角对应取向一致则生长样品为单晶，若六边形刻蚀区边角对应取向不一致则生长样品为多晶。