[发明专利]确认基板外形尺寸之方法有效
| 申请号： | 201510099918.0 | 申请日： | 2015-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN104677279B | 公开（公告）日： | 2017-08-15 |
| 发明（设计）人： | 谢佩君;庄伟仲;张俊德;戴嘉骏 | 申请（专利权）人： | 业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种确认基板外形尺寸之方法，其是针对现行基板外形尺寸的确认方式作一改良，其改良点包括提供一具有对应基板外形尺寸之规格的罩幕，并且利用此罩幕，以在基板上形成一外圈标志与内圈标志。之后，检测基板上是仅具有内圈标志、同时具有外圈与内圈标志、或不具有外圈与内圈标志，以确认基板之外形尺寸是否符合规格。藉由此方法，本发明有效节省了习见量测基板尺寸之设备的成本与量测时间，并有效提升其检测效益。 | ||
| 搜索关键词： | 确认 外形尺寸 方法 | ||
【主权项】：
一种确认基板外形尺寸之方法，用于检测一基板之外形尺寸，其特征在于，该方法包括：提供一罩幕，该罩幕上是具有对应该基板之外形尺寸之一规格；利用具有该规格之该罩幕在该基板上形成一外圈标志与一内圈标志；以直接目测的方式检测该基板上是否具有该外圈标志或该内圈标志，确认该基板之外形尺寸是否符合该规格；该罩幕是为一光罩，该外圈标志或该内圈标志是透过一微影制程以形成于该基板上。
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