[发明专利]一种基板破损检查装置、生产系统及检查方法有效
| 申请号： | 201510100199.X | 申请日： | 2015-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN104655645B | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 王志强;吴斌;李广志;岳兴;余学权;刘甲甲 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板破损检查装置、生产系统及检查方法。该基板破损检查装置包括驱动单元、支撑杆、传感器和控制器；所述驱动单元与支撑杆连接，用于驱动所述支撑杆在待测基板的下方升降移动；所述支撑杆上设置有传感器；所述传感器与控制器通讯连接；所述传感器用于向待测基板发射光束，光束经待测基板反射后被所述传感器接收并反馈至所述控制器中。该基板破损检查装置通过驱动单元及带有传感器的支撑杆，实现了待测基板在垂直方向运动时的破损检查，结构简单，操作方便，具有相当大的实用价值及推广意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 破损 检查 装置 生产 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种基板破损检查装置，其特征在于，包括驱动单元、支撑杆、传感器和控制器；所述驱动单元与支撑杆连接，用于驱动所述支撑杆在待测基板的下方升降移动；所述支撑杆上设置有传感器；所述传感器与控制器通讯连接；所述传感器用于向待测基板发射光束，光束经待测基板反射后被所述传感器接收并反馈至所述控制器中。
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