[发明专利]一种梯度折射率波导装置及其制备方法有效
| 申请号： | 201510100313.9 | 申请日： | 2015-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN104678501B | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 罗伊;布兰特 | 申请（专利权）人： | 西安奇芯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/32 | 分类号： | G02B6/32;G02B3/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人： | 张倩 |
| 地址： | 710304 陕西省西安市高新区草堂*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种梯度折射率波导装置及其制备方法，包括GRIN透镜以及包层，GRIN透镜包括衬底、波导层和至少两个GRIN层，最底层的GRIN层沉积在衬底上，所述波导层位于任意相邻的两个GRIN层之间，所述包层包裹在GRIN透镜外侧，由最顶层的GRIN层或最底层的GRIN层向波导层的折射率逐渐变大。本发明解决了现有的波导装置中的GRIN透镜无法进行逐层光刻和刻蚀，导致保真度下降，精度降低的技术问题，本发明GRIN透镜是由PLC技术制作的，PLC技术的优点是可以将GRIN透镜中GRIN层和波导层集成在同一个芯片上，采用PLC技术的GRIN透镜具有单片集成，成本低、可靠性好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 梯度 折射率 波导 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种梯度折射率波导装置，包括GRIN透镜以及包层，其特征在于：所述GRIN透镜包括波导层和至少两个GRIN层，所述波导层位于任意两个GRIN层之间，所述包层包裹在GRIN透镜外侧，衬底位于最底层，由最顶层的GRIN层或最底层的GRIN层向波导层的折射率逐渐变大；每个GRIN层包括至少两个GRIN子层，所述波导层包括至少两个波导子层。
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