[发明专利]管式生长炉有效
| 申请号： | 201510101607.3 | 申请日： | 2015-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN104651924B | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 方攀;康彬;窦云巍;唐明静;袁泽锐;张羽;尹文龙;陈莹 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院化工材料研究所;四川省新材料研究中心 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 四川省成都市天策商标专利事务所51213 | 代理人： | 伍孝慈 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种管式生长炉，通过简单管式炉体组合而制造出较大温度梯度的方案，包括一个较小圈径的加热炉圈(上炉)，一个较大圈径的加热炉圈(下炉)，梯度区，以及相应的保温隔热材料。解决一些晶体结晶过冷度较大单晶生长所需大温度梯度的问题，大大增加了炉体温度梯度的可调范围，为一些高品质晶体的生长提供新的解决方案。 | ||
| 搜索关键词： | 生长 | ||
【主权项】：
一种管式生长炉，其特征在于它包括高温区炉圈(1)、低温区炉圈(2)、高温区控温热偶(3)、低温区控温热偶(4)、保温层(5)、上炉型腔(6)和下炉型腔(7)，所述上炉型腔(6)小于所述下炉型腔(7)，所述高温区炉圈(1)设置所述上炉型腔(6)内，所述低温区炉圈(2)设置所述下炉型腔(7)内，所述高温区炉圈(1)与所述低温区炉圈(2)之间存在一个温度梯度区(8)，所述保温层(5)围在所述上炉型腔(6)和下炉型腔(7)上，所述高温区控温热偶(3)与所述高温区炉圈(1)连接，所述低温区控温热偶(4)与所述低温区炉圈(2)连接；所述高温区炉圈(1)和/或低温区炉圈(2)为加热电阻丝缠制而成的管式线圈；高温区炉圈(1)和低温区炉圈(2)的圈径可通过实际所需温度梯度进行调整，通过减小高温区炉圈(1)圈径或增大低温区炉圈(2)的圈径以增大梯度区的温度梯度。
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