[发明专利]一种光纤探针及其制备方法有效
申请号: | 201510102095.2 | 申请日: | 2015-03-09 |
公开(公告)号: | CN106033092B | 公开(公告)日: | 2018-09-07 |
发明(设计)人: | 李家方;李无瑕;牟佳佳;顾长志;李志远 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | G01Q60/22 | 分类号: | G01Q60/22 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 王勇;李科 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种光纤探针,包括具有光滑平整的光纤端面的光纤,制作在光纤端面上的连接平台,以及制作在连接平台上的锥形结构;连接平台中心具有与光纤芯适配的通光孔,连接平台的侧壁上设置有导流孔,所述锥形结构内部中空,且其底部开口与所述连接平台的通光孔适配,所述锥形结构的表面具有波纹。本发明还提供了相应的光纤探针的制备方法,包括:1)在光纤端面均匀地布置光刻胶;2)用三维激光直写设备对光刻胶进行曝光,得到所述连接平台和所述锥形结构的形状的曝光区;3)对光刻胶进行显影和定影,将内部未曝光区域的光刻胶通过导流孔排出。本发明同时具有高空间分辨率和高通光效率;不需要在探针附近配备外部光场激发系统,集成度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 光纤 探针 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种光纤探针,包括具有光滑平整的光纤端面的光纤,制作在光纤端面上的连接平台,以及制作在连接平台上的锥形结构;所述连接平台中心具有与所述光纤的光纤芯适配的通光孔,所述连接平台的侧壁上设置有导流孔,所述锥形结构内部中空,且其底部开口与所述连接平台的通光孔适配,所述锥形结构的表面具有波纹并制备有金属膜。
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