[发明专利]涂敷装置以及涂敷方法

摘要

本发明提供涂敷装置以及涂敷方法，能够抑制开始进行涂敷处理时最初从喷嘴喷出的涂敷液以鼓起的方式被涂敷，能够从涂敷处理的开始时刻以适当的涂膜厚度对涂敷对象物进行涂敷，结构简单且用于进行涂膜厚度调节的控制容易。涂敷装置具备：涂敷液供给源，其通过加压将贮存于罐的涂敷液向涂敷液供给系统挤出并供给；喷嘴，其与涂敷液供给系统连接，一边喷出供给来的涂敷液一边相对于涂敷对象物移动，对涂敷对象物进行涂敷处理；开闭阀，其设于涂敷液供给系统，在开始进行涂敷处理时打开，向喷嘴供给涂敷液后关闭，停止涂敷液向喷嘴的供给；以及缓冲罐，其设于涂敷液供给系统，并且内部充满涂敷液，该缓冲罐抑制开闭阀打开时朝向喷嘴传播的压力变化。

主权项

1.一种涂敷装置，其特征在于，具备：涂敷液供给源，其通过加压而将贮存于罐内的涂敷液向涂敷液供给系统挤出并供给；喷嘴，其与该涂敷液供给系统连接，一边喷出供给来的涂敷液，一边相对于涂敷对象物进行相对移动，对涂敷对象物进行涂敷处理；开闭阀，其设置于所述涂敷液供给系统，在开始进行涂敷处理时打开，从所述涂敷液供给源向所述喷嘴供给涂敷液，之后关闭，停止涂敷液向该喷嘴的供给；以及缓冲罐，其设置于所述涂敷液供给系统，并且内部充满容量至少为能够通过压缩弹性吸收涂敷液在涂敷开始端鼓起的量的涂敷液，该缓冲罐抑制在所述开闭阀打开时朝向所述喷嘴传播的压力的变化。