[发明专利]一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线

摘要

本发明公开了一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线，属于镀膜设备领域。本发明包括开卷室、收卷室和镀膜真空室，开卷室与镀膜真空室之间还设有放卷储料室，收卷室与镀膜真空室之间还设有收卷储料室，放卷储料机构的前方设有热合机构，收卷储料机构的后方依次设有切断机构和基材变向机构；缠绕于两组开卷辊上的其中一卷基材的一端依次经过热合机构、放卷储料机构、前处理机构、冷辊、收卷储料机构和切断机构，并经过基材变向机构后缠绕于其中一组收卷辊上。本发明利用开卷的提前备料和收卷的提前备辊，并结合开卷和收卷的储料机构实现多卷基材的连续镀制，省去了中间换卷及抽真空的时间，大大提高了镀膜效率。

主权项

一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线，包括开卷室（1）、收卷室（22）和镀膜真空室（9），所述的镀膜真空室（9）内设有前处理机构（10）、冷辊（11）和一个以上的磁控溅射镀膜机构（13），其特征在于：所述的开卷室（1）和收卷室（22）均设置有两个，开卷室（1）与镀膜真空室（9）之间还设有放卷储料室（6），收卷室（22）与镀膜真空室（9）之间还设有收卷储料室（15），两个所述的开卷室（1）均通过闸板阀（14）与放卷储料室（6）相连通，两个所述的收卷室（22）均通过闸板阀（14）与收卷储料室（15）相连通，所述的放卷储料室（6）与镀膜真空室（9）之间、收卷储料室（15）与镀膜真空室（9）之间均设有闸板阀（14）；两个所述的开卷室（1）内各设有一组开卷辊（2），每组开卷辊（2）下方各设有一组上料马鞍机构（3），两个所述的收卷室（22）内各设有一组收卷辊（23），每组收卷辊（23）下方各设有一组卸料马鞍机构（24）；所述的放卷储料室（6）内设有放卷储料机构（8），所述的收卷储料室（15）内设有收卷储料机构（16），所述的放卷储料机构（8）的前方设有热合机构（7），所述的收卷储料机构（16）的后方依次设有切断机构（18）和基材变向机构；缠绕于两组开卷辊（2）上的其中一卷基材的一端依次经过热合机构（7）、放卷储料机构（8）、前处理机构（10）、冷辊（11）、收卷储料机构（16）和切断机构（18），并经过基材变向机构后缠绕于其中一组收卷辊（23）上；两组开卷辊（2）之后和两组收卷辊（23）之前均设有用于基材纠偏的纠偏机构（4）；所述的开卷室（1）、放卷储料室（6）、收卷储料室（15）和收卷室（22）均与设于外部的粗抽泵（25）相连，所述的镀膜真空室（9）与设于外部的分子泵组相连。