[发明专利]可调整吸附面积的真空吸平装置、料片检测设备及料片移载设备

摘要

一种可调整吸附面积的真空吸平装置，包含吸附载台、真空气室、以及数组式调整装置。该吸附载台具有真空吸附平面以及数个设置于该真空吸附平面上的吸孔。该真空气室设置于该吸附载台相对该真空吸附平面的另一侧。该真空气室具有相邻于该吸附载台的吸孔一侧的气体导流面、以及一个或数个提供负压的真空吸引单元。该数组式调整装置具有控制盘、及设置于该控制盘上并分别对应至数个该吸孔的数个顶针，该控制盘依据所输入的指令控制部分该顶针覆盖于部分该吸孔上以界定一料片吸附区域。

主权项

一种可调整吸附面积的真空吸平装置，用以吸附并整平料片，该真空吸平装置包含吸附载台及真空气室，该吸附载台具有真空吸附平面、以及数个设置于该真空吸附平面上的吸孔；该真空气室设置于该吸附载台相对该真空吸附平面的另一侧，该真空气室具有相邻于该吸附载台的吸孔一侧的气体导流面、以及一个或数个对该气体导流面提供负压的真空吸引单元；其特征在于，该真空吸平装置还包括数组式调整装置，该数组式调整装置设置于该吸附载台对应于该真空吸附平面或该气体导流面的一侧，该数组式调整装置具有控制盘、及设置于该控制盘并分别对应至数个该吸孔的数个顶针，该控制盘控制部分该顶针覆盖于部分该吸孔上以界定一料片吸附区域。