[发明专利]离子注入装置、射束能量测定装置以及射束能量测定方法有效
| 申请号： | 201510104340.3 | 申请日： | 2015-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN104916518B | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 佐佐木玄;渡边一浩;狩谷宏行 | 申请（专利权）人： | 斯伊恩股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种离子注入装置、射束能量测定装置以及射束能量测定方法。在离子注入装置中测定离子束的能量。离子注入装置(100)中的射束能量测定装置(200)具备：平行度测定部(202)，在离子注入装置(100)的射束平行化器(36)的下游测定离子束的平行度；及能量运算部(204)，由测定出的平行度运算离子束的能量。离子注入装置(100)还可以具备控制部，该控制部根据运算出的离子束的能量控制高能量多段直线加速单元(14)，以使离子束具有目标能量。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 装置 能量 测定 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种离子注入装置，其特征在于，具备：射束平行化器，在射束基准轨道上具有焦点，其中，该射束平行化器使多个射束轨道分别按照入射角度以不同的偏转角度偏转，以便在包含所述射束基准轨道的平面，使从所述焦点至所述射束平行化器分别成为不同的入射角度的方向的所述多个射束轨道在目标射束能量下与所述射束基准轨道平行；平行度测定部，对于通过所述射束平行化器的离子束，在所述射束平行化器的下游测定射束平行度，该射束平行度表示所述平面内的在与所述射束基准轨道垂直的方向上的射束角度的误差；及能量运算部，根据所述射束平行度运算所述离子束的能量相对于所述目标射束能量的偏离量。
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