[发明专利]微小高度的检测方法及系统有效
| 申请号： | 201510105492.5 | 申请日： | 2015-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN104655027B | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 罗艺 | 申请（专利权）人： | 深圳市兴华炜科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/03 | 分类号： | G01B11/03 |
| 代理公司： | 深圳市科冠知识产权代理有限公司44355 | 代理人： | 王海骏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区松岗*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明适用微电子领域，提供了一种微小高度的检测方法及系统，所述系统包括数字相机和阵列光源装置；其中，该阵列光源装置与待检测物体表面呈一斜角；该阵列光源装置从内到外依次包括高亮度光源、平行光透镜和高分辨率液晶屏；该阵列光源装置还包括液晶片驱动电路。本发明提供的技术方案具有成本低、快速检测的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 微小 高度 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种微小高度的检测方法，其特征在于，所述方法包括：采用点阵列光源在标准平面上投影，获得每个亮点的标准坐标位置；该点阵列光源为能够形成暗点亮点相互交叉的阵列光斑，所述光斑为几何形状的光斑；变换点阵列光源的亮点和暗点的位置，获得整个标准平面上的每个亮点的标准坐标位置；将经过标定的标准高度量块放入点阵光源进行测量，获得点阵光源在该标准高度量块高度下的投影偏差值；依据偏差值与标准坐标位置利用三角函数原理计算出投影夹角a；将待测物体放入该点阵光源进行测量，获取待测物体的投影偏差与标准平面投影位置差值A；待测物体的高度B＝A*tag(a)。
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