[发明专利]基于磁感应传感器的高精度直线位移检测装置

摘要

本发明公开了一种基于磁感应传感器的高精度直线位移检测装置，包括分别固定于具有相对位移功能的第一结构和第二结构上的静磁栅源和静磁栅尺，所述静磁栅源和静磁栅尺相对设置，所述静磁栅源设有永磁体，所述静磁栅尺上设有多个与永磁体相感应的磁感应元件、且磁感应元件和永磁体之间隔有一段距离，所述静磁栅尺与计算机相连。本发明具有安装方便、高精度、高稳定性、高可靠性、使用寿命长、结构精巧、环境适应性强、隔离防爆的特点，可以广泛应用于直线位移检测领域。

主权项

一种基于磁感应传感器的高精度直线位移检测装置，其特征在于：包括分别固定于具有相对位移功能的第一结构和第二结构上的静磁栅源(18)和静磁栅尺(19)，所述静磁栅源(18)和静磁栅尺(19)相对设置，所述静磁栅源(18)设有永磁体(21)，所述静磁栅尺(19)上设有多个与永磁体(21)相感应的磁感应元件(20)、且磁感应元件(20)和永磁体(21)之间隔有一段距离，所述静磁栅尺(19)与计算机相连，所述装置采用差分算法原理进行测量物体相对某一基准位移量的计算，具体公式如下：S＝((a1+…+an1)/n1+(b1+…+bn2)/n2+(c1+…+cn3)/n3+(d1+…+dn4)/n4+…+(k1+…+knk)/nk)/k*L，其中，S为不同状态下基于磁感应传感器的高精度直线位移检测装置的位移数据，k为静磁栅源(18)中永磁体(21)的数量，n1、n2…nk分别为每个永磁体(21)感应对应的静磁栅尺(19)上的磁感应元件(20)的数量，a1、a2…an1分别表示永磁体一感应对应的各个磁感应元件(20)的序列号，b1、b2…bn2分别表示永磁体二感应对应的各个磁感应元件(20)的序列号，c1、c2…cn3分别表示永磁体三感应对应的各个磁感应元件(20)的序列号，d1、d2…dn4分别表示永磁体四感应对应的各个磁感应元件(20)的序列号，k1、k2…knk分别表示第K个永磁体(21)感应对应的各个磁感应元件(20)的序列号，L为各个磁感应元件(20)之间的距离。