[发明专利]大孔径金刚石拉拔模涂层制备设备及制备方法

摘要

本发明公开了一种大孔径金刚石拉拔模涂层制备设备及制备方法。它包括CVD沉积设备，CVD沉积设备内安装有能够由动力设备驱动旋转的旋转工作台以及竖直安装在旋转工作台上的拉拔模具，拉拔模具的内孔中有固定安装的热丝组件；热丝组件包括两片半环形的钼片以及多对在两片半环形的钼片上对称布置的竖直热丝，每根竖直热丝的端部分别连接在其中一片半环形的钼片上，两个半环形钼片分别与灯丝电极连接。采用上述的结构后，其结构设置合理，拉拔模具具有极强的耐磨性，使用寿命长，大大降低了成本，提高了产品质量，可作为拉拔模，用于减薄金属管壁、金属管的定径等，也可作为紧压模具。 1

主权项

1.一种大孔径金刚石拉拔模涂层制备设备，包括CVD沉积设备（1），其特征在于：所述CVD沉积设备（1）内安装有能够由动力设备驱动旋转的旋转工作台（2）以及竖直安装在旋转工作台上的拉拔模具（3），所述拉拔模具（3）的内孔中有固定安装的热丝组件（4）；所述热丝组件（4）包括两片半环形的钼片以及多对在两片半环形的钼片（5）上对称布置的竖直热丝，每根所述竖直热丝的端部分别连接在其中一片半环形的钼片（5）上，两个半环形钼片分别与灯丝电极连接，每对所述竖直热丝的中点线、拉拔模具的轴心线和旋转工作台的轴心线三线重合。

2.按照权利要求1所述的大孔径金刚石拉拔模涂层制备设备，其特征在于：所述两片半环形的钼片（5）沿拉拔模具的其中一条对称轴对称布置，各根所述竖直热丝在拉拔模具的内孔中沿圆周均匀分布并沿拉拔模具中心等径排列。

3.按照权利要求1所述的大孔径金刚石拉拔模涂层制备设备，其特征在于：每对所述竖直热丝的下端均连接一根水平热丝构成一组U形热丝，所述钼片（5）位于拉拔模具（3）的内孔上端。

4.按照权利要求1所述的大孔径金刚石拉拔模涂层制备设备，其特征在于：所述旋转工作台（2）内设置有冷却水通道（6）。

5.按照权利要求1所述的大孔径金刚石拉拔模涂层制备设备，其特征在于：所述热丝组件（4）的下端安置有能够使各根竖直热丝保持竖直的重物。

6.一种基于权利要求1所述大孔径金刚石拉拔模涂层制备设备的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：拉拔模具（3）竖直放于旋转工作台（2）上，在CVD沉积设备（1）中对拉拔模具（3）内孔表面沉积金刚石涂层，在沉积过程中，热丝组件（4）固定不动，旋转工作台（2）匀速旋转进而带动拉拔模具（3）匀速旋转，使得旋转的拉拔模具内孔表面与热丝组件之间的距离不变，但保持一个相对的匀速运动，沉积满足以下工艺参数要求：压力5‑7KPa，甲烷36毫升/分，氢气800毫升/分，热灯丝温度2100‑2300℃，拉拔模具的基底温度700‑900℃，经5‑10小时沉积得到金刚石涂层。